薄膜阐发

板厚从(cong)几块Å 到(dao)几块mm 的(de)(de)贴(tie)膜的(de)(de)脾(pi)性(xing)与像的(de)(de)块体(ti)的(de)(de)材(cai)质(zhi)(zhi)(zhi) 的(de)(de)脾(pi)性(xing)会较着本质(zhi)(zhi)(zhi)区别(bie)(bie)。X电子束(shu)衍(yan)射(she)基本上使用(yong)在(zai)定量分析各项(xiang)案(an)例(lℱi)的(de)(de)贴(tie)膜，带有(you)单面膜、耐磨涂(tu)层和两层膜。前些(xie)章数(shu)在(zai)大中城市轮(lun)廓线的(de)(de)现(xian)实(shi)(shi)情况(kuang)和体(ti)例(li)可使用(yong)在(zai)贴(tie)膜网络体(ti)系。但(dan)是，X电子束(shu)对贴(tie)膜的(de)(de)阻隔方可高，于(yu)是检(jian)测机(ji)器设备的(de)(de)软件(jian)(jian)布置(zhi)紫装摆(bai)好(hao)、参数(shu)收(shou)罗和考评体(ti)例(li)能其实(shi)(shi)本质(zhi)(zhi)(zhi)区别(bie)(bie)于(yu)颗粒状的(de)(de)材(cai)质(zhi)(zhi)(zhi) 。软件(jian)(jian)布置(zhi)紫装摆(bai)好(hao)2D观(guan)测器的(de)(de)检(jian)测机(ji)器设备和采(cai)取也(ye)本质(zhi)(zhi)(zhi)区别(bie)(bie)于(yu)点观(guan)测器的(de)(de)衍(yan)射(she)仪(yi)。

掠入射X射线衍射

掠入(ru)(ru)射(she)(she)(she)X光(guang)(guang)谱(pu)线(xian)(xian)衍射(she)(she)(she)(GIXRD)是(shi)往往用作塑料膜阐发(fa)的(de)(de)(de)(de)(de)X光(guang)(guang)谱(pu)线(xian)(xian)散(san)(san)射(she)(she)(she)体例。图1(a)是(shi)点监测器的(de)(de)(de)(de)(de)GIXRD的(de)(de)(de)(de)(de)设定(ding)转备摆才(cai)。每个的(de)(de)(de)(de)(de)抛(pao)物线(xian)(xian)造型弯(wan)折的(de)(de)(de)(de)(de)Göbel镜将X光(guang)(guang)谱(pu)线(xian)(xian)光(guang)(guang)管回收的(de)(de)(de)(de)(de)散(san)(san)发(fa)光(guang)(guang)转变成为平(ping)形(xing)光(guang)(guang)。平(ping)形(xing)入(ru)(ru)射(ওshe)(she)(she)光(guang)(guang)也要够虽然由(you)其(qi)他人的(de)(de)(de)(de)(de)X光(guang)(guang)谱(pu)线(xian)(xian)源和光(guang)(guang)学(xue)玻璃机件一出生。入(ru)(ru)射(she)(she)(she)角aI坚持什么在低弧度(du)(du)(du)（掠入(ru)(ru)射(she)(she)(she)）要虽然合理入(ru)(ru)射(she)(she)(she)X光(guang)(guang)谱(pu)线(xian)(xian)的(de)(de)(de)(de)(de)刺穿宽度(du)(du)(du)已是(shi)大基(ji)本散(san)(san)射(she)(she)(she)产生在塑料膜其(qi)他，都不有肌(ji)底散(san)(san)射(she)(she)(she)的(de)(de)(de)(de)(de)进献。好的(de)(de)(de)(de)(de)掠入(ru)(ru)射(she)(she)(she)角由(you)塑料膜宽度(du)(du)(du)(t)和塑料膜资科的(de)(de)(de)(de)(de)平(ping)滑衰减指数(m)表决:

掠入(ru)射(she)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)(fang)(fang)面(mian)(mian)还是(shi)应该(gai)按照(zhao)低(di)于(yu)全反(fan)射(she)强度的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)临介(jie)角，该(gai)方(fang)(fang)(fang)面(mian)(mian)是(shi)不(bu)对应1到(dao)(dao)3°，决定于(yu)入(ru)射(she)XxX放射(she)性元素的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)可(ke)见光波长。线(xian)瞄准入(ru)射(she)散射(she)是(shi)不(bu)与点观测(ce)器(qi)主体(ti)(ti)(ti)利(li)于(yu)。在(zai)(zai)如斯低(di)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)(fang)(fang)面(mian)(mian)，入(ru)射(she)XxX放射(she)性元素在(zai)(zai)不(bu)异(yi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)入(ru)射(she)方(fang)(fang)(fang)面(mian)(mian)q笼盖(gai)大适用体(ti)(ti)(ti)积(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)样机(ji)表(biao)层。做(zuo)一(yi)(yi)套索(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)缝(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)，此(ci)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)彩(cai)石片(pian)(pian)垂直(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)(zai)于(yuꦉ)衍(yan)射(she)仪立体(ti)(ti)(ti)感(gan)且(qie)沿衍(yan)射(she)仪上(shang)面(mian)(mian)和观测(ce)器(qi)当中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)标(biao)(biao)志最终重(zhong)要(yao)性摆列(lie)，拟定在(zai)(zai)点观测(ce)器(qi)背(bei)后。这套索(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)缝(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)也成为索(suo)(suo)拉(la)(la)片(pian)(pian)准直(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)、索(suo)(suo)拉(la)(la)准直(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)和次级(ji)准直(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)。散射(she)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)地(di)方(fang)(fang)(fang)散射(she)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)XxX放射(she)性元素够(gou)即(ji)(ji)使(shi)指在(zai)(zai)差(cha)同一(yi)(yi)标(biao)(biao)志最终重(zhong)要(yao)性，可(ke)以说是(shi)只有(you)由(you)索(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)缝(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)肯(ken)定会(hui)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)2q标(biao)(biao)志最终重(zhong)要(yao)性的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)反(fan)射(she)光能(neng)符合(he)点观测(ce)器(qi)。索(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)缝(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)够(gou)即(ji)(ji)使(shi)始(shi)终好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)2θ 分(fen)辩率的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)直(zhi)(zhi)(zhi)接又够(gou)即(ji)(ji)使(shi)从大适用体(ti)(ti)(ti)积(ji)被星光照(zhao)耀的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)样机(ji)适用体(ti)(ti)(ti)积(ji)上(shang)了(le)(le)解衍(yan)射(she)旌(jing)旗灯号。决定于(yu)索(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)缝(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)总长和邻(lin)边彩(cai)石片(pian)(pian)当中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(dဣe)裂(lie)缝(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)，好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)(fang)(fang)面(mian)(mian)分(fen)辩率目(mu)空一(yi)(yi)切(qie)0.1°, 0.2°, 0.3° 或0,4°够(gou)即(ji)(ji)使(shi)具(ju)有(you)。Göbel镜才(cai)能(neng)准直(zhi)(zhi)(zhi)平级(ji)于(yu)衍(yan)射(she)仪面(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)散射(she)。为了(le)(le)更好地(di)撤除(chu)载荷数列(lie)收敛度，额(e)定的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)在(zai)(zai)主环(huan)路(lu)和次级(ji)环(huan)路(lu)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)索(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)缝(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)（图(tu)下未(wei)出现）还是(shi)应该(gai)按照(zhao)像Bragg-Brentano多长中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)有(you)一(yi)(yi)种利(li)于(yu)。在(zai)(zai)数据报告了(le)(le)解阶段中(zhong)，入(ru)射(she)散射(she)始(shi)终在(zai)(zai)耐(nai)用标(biao)(biao)志最终重(zhong)要(yao)性，观测(ce)器(qi)阅读想(xiang)检测(ce)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)2q的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)规模。其实(shi)入(ru)射(she)光笼盖(gai)在(zai)(zai)样机(ji)上(shang)，所了(le)(le)解到(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)衍(yan)射(she)图(tu)谱能(neng)不(bu)能(neng)具(ju)有(you)由(you)索(suo)(suo)拉(la)(la)狭(xia)缝(feng)(feng)(feng)(feng)(feng)和阅读步长议案的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)2q分(fen)辩率。

✱  ▲ 图1. (a)点试探💦器GIXRD测(ce)试仪测(ce)试仪成绩图; (b)2D试探器GIXRD测(ce)试仪测(ce)试仪成绩图

图(tu)1(b)是有2D监(jian)(jian)测器(qi)的GIXRD的如(ru)何设置极品装备摆放(fang)。入射光(guang)柱也是抛物(wu)线(xian)(xian)光(guang)。看上来与1(a)中的入射光(guang)柱*不异，却说点(dian)瞄准(zhun)Xx光(guang)谱(pu)线(xian)(xian)源、或特殊的狭缝、或圆洞(dong)准(zhun)直器(qi)（未出现(xian)）用(yong)作(zuo)拥有点(dian)光(guang)柱。在一(yi)位二维XRD装修标准(zhun)中，衍射的Xx光(guang)谱(pu)线(xian)(xian)此(ci)外在二维的地段各种测试，不索(suo)拉能(neng)具体安(an)排(pai)在2D监(jian)(jian)测器(qi)最后。大的照(zhao)射地段散射的Xx光(guang)谱(pu)线(xian)(xꦏian)不能(neng)够被索(suo)拉狭缝挑。对立，任何在2D监(jian)(jian)测器(qi)笼(long)盖人数(shu)(D2q)内的旌旗(qi)灯号(hao)被此(ci)外查(cha)阅。是以(yi)，数(shu)剧收罗浓度较(jiao)着不低于点(dian)监(jian)(jian)测器(qi)装修标准(zhun)，却说2q分辩率(lv)较(jiao)着返航(hang)。

面(mian)(mian)内(nei)掠入射(she)(she)(she)XX射(she)(she)(she)线衍(yan)(yan)射(she)(she)(she)(IP-GIXRD)在一(yi)定医(yi)学文献中也统称(cheng)掠入射(she)(she)(she)面(mian)(mian)内(nei)衍(yan)(yan)射(she)ꦉ(she)(she)(GIIXD)并同共面(mian)(mian)GIXRD。积极响应地，衍(yan)(yan)射(she)(she)(she)失量(liang)在衍(yan)(yan)射(she)(she)(she)3d立体内(nei)(y=0)的(de)(💮de)GIXRD统称(cheng)面(mian)(mian)外GIXRD(OP-GIXRD)或(huo)(huo)(huo)共面(mian)(mian)GIXRD。面(mian)(mian)内(nei)和面(mian)(mian)外GIXRD被普通(tong)主(zhu)要用于研究方(fang)法样(yang)件(jian)外表(biao)面(mian)(mian)，贴膜和涂覆。通(tong)过2D发现器，可(ke)(ke)能或(huo)(huo)(huo)者是可(ke)(ke)能或(huo)(huo)(huo)者是的(de)(de)同时(shi)得到OP标有(you)的(de)(de)性(xing)和IP标有(you)的(de)(de)性(xing)的(de)(de)衍(yan)(yan)射(she)(she)(she)个(ge)人信息。

  ▲图(tu)2. 有2D探测系统(tong)器(qi)的掠入射X光(guang)谱线衍射🥂(GIXRD2): (a) 技术规范有许多(duo); (b)面内有许多(duo)

图2是(shi)设备(bei)游(you)戏武器(qi)(qi)(qi)摆床2D侦测(ce)系统(tong)器(qi)(qi)(qi)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)掠入射(she)(she)(she)(she)(she)X光谱线(xian)衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)(she)有(you)多(duo)(duo)几(ji)多(duo)(duo)少ꩵ(GIXRD2)。(a)是(shi)土(tu)样(yang)(yang)(yang)趋向(xiang)设备(bei)在(zai)(zai)y=0°  且土(tu)样(yang)(yang)(yang)表层法(fa)向(xiang)在(zai)(zai)衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)(she)仪(yi)面(mian)(mian)内的(de)(de)标准有(you)多(duo)(duo)几(ji)多(duo)(duo)少。在(zai)(zai)y=0°处的(de)(de)土(tu)样(yang)(yang)(yang)法(fa)向(xiang)是(shi)no。2D图案上的(de)(de)暗影省市（从侦测(ce)系统(tong)器(qi)(qi)(qi)面(mian)(mian)负(fu)面(ꦇmian)(mian)就看像侦测(ce)系统(tong)器(qi)(qi)(qi)面(mian)(mian)是(shi)通明的(de)(de)）体现被土(tu)样(yang)(yang)(yang)表层提倡的(de)(de)散(san)射(she)(she)(she)(she)(she)标地(di)作用。对若是(shi)点侦测(ce)系统(tong)器(qi)(qi)(qi)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)管理体系或带2D侦测(ce)系统(tong)器(qi)(qi)(qi)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)(she)仪(yi)只斟酌衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)(she)仪(yi)立体图内(g=-90°)的(de)(de)衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)(she)，当(dang)w = q时衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)(she)矢量素材径直于土(tu)样(yang)(yang)(yang)表层。在(zai)(zai)广泛性有(you)多(duo)(duo)几(ji)多(duo)(duo)少里，入射(she)(she)(she)(she)(she)角(jiao)w (q-2q设备(bei)游(you)戏武器(qi)(qi)(qi)摆床) 或q1 (q-q设备(bei)游(you)戏武器(qi)(qi)(qi)摆床) ，出射(she)(she)(she)(she)(she)角(jiao)aF (界说(shuo)为(wei)衍(yan)(yan)(yan)射(she)(she)(she)(she)(she)散(san)射(she)(she)(she)(she)(she)和土(tu)样(yang)(yang)(yang)表层中间的(de)(de)对角(jiao)) 随g值的(de)(de)变动而塑(su)造:

对测角仪有立体(ti)感内(nei)的衍(yan)射光柱(g=-♏90°), 。衍(yan)🦋射失量和印(yin)刷品长(zhang)相相互的临界角(aH)为(wei)：

对2q角(jiao)低于测探器尽寸笼盖大企๊(qi)(qi)业(ye)整(zheng)(zheng)体(ti)(ti)规模(mo)的(de)(de)(de)图谱，g在2D帧(zhen)图上面的(de)(de)(de)大的(de)(de)(de)大企(qi)(qi)业(ye)整(zheng)(zheng)体(ti)(ti)规模(mo)。是以，衍射(she)图谱才能即使(shi)笼盖从(cong)面内(qxy)标识的(de)(de)(de)到面外(qz)标识的(de)(de)(de)的(de)(de)(de)的(de)(de)(de✱)大的(de)(de)(de)大企(qi)(qi)业(ye)整(zheng)(zheng)体(ti)(ti)规模(mo)。不异的(de)(de)(de)几也代替为确(que)认极佳分辩率采纳(na)的(de)(de)(de)更长的(de)(de)(de)测探器接连和为消弭氛围营造(zao)散射(she)而合理利(li)用的(de)(de)(de)机械泵激光切割(ge)机的(de)(de)(de)光路的(de)(de)(de)掠入射(she)小(xiao)角(jiao)散射(she)(GISAXS)体(ti)(ti)例。

图2(b) 是GIXRD2的(de)(de)面内数量(liang)IP-GIXRD2。掠入射(she)维度(du)看依靠方式y弯曲获取。当(dang)y挨近90°时，衍(yan)射(she)矢量(liang)🦹图图与检样看起来(lai)全是个很是小的(de)(de)维度(du)看 (= 90° - y当(dang)w = q) 。入射(she)光柱(zhu)的(de)(de)第一单元矢量(liang)图图，衍(yan)射(she)光柱(zhu)和(he)检样法(fa)线(xian)标有的(de)(de)下面：

已(yi)发现(xian) ：

哪么多入(ru)射视场(chang)角为：

出(chu)射坡(po)度aF随(sui)g值修改而转化成。是以(yi)：

也(ye)(ye)能也(ye)(ye)许拿到：

只不过arcsine函数公式的(de)一切(qie)都是(shi)(shi)多(duo)(duo)个(ge)项都可(ke)能含(han)有负号(hao)，可(ke)能aF对反(fan)射面形势衍射是(shi)(shi)正逢。aF为负时(shi)(shi)主(zhu)要表现(xian)散射标签原则(ze)被试(shi)样(yang)外貌遮光(guang)，在2D图上(shang)要很(hen)多(duo)(duo)个(ge)暗(an)影东南部(bu)划(hua)分(fen)。当y邻(lin)近 90° (但(dan)找不到90°时(shi)(shi))，衍射环的(de)g 整体规模从(cong)邻(lin)近g=-90°的(de)值起(qi)头。比喻，当w=30°, 2q=60° 且🅷y=89°时(shi)(shi♍), 掠入射角aI 是(shi)(shi)0.5°，衍射光(guang)柱在g=-90° 的(de)出射角也是(shi)(shi)0.5°。“亮(liang)”东南部(bu)划(hua)分(fen)与暗(an)影东南部(bu)划(hua)分(fen)两者边(bian)疆的(de)g值是(shi)(shi)g1»-89.43° ，单(dan)独g2 是(shi)(shi)源于于侦测器长宽高。

衍(yan)射失量和产(cha♕n)品(pin)的样(yang)品(pin)的外表期间的弯度是(shi) ：

对(w=30°, 2q=60° 且y=89°) 且g🔯=-90°的(de)土(tu)(tu)样(yang)，衍(yan)射失(shi)量(liang)和土(tu)(tu)样(yang)样(yang)貌(mao)(mao)范(fan)围(wei)内的(de)仰(yang)角(jiao)aH=90&d▨eg;-y=1°。代表于(yu)暗影边防(g1»-89.43°)的(de)小aH 角(jiao)是0.5°。鉴于(yu)掠入射多角(jiao)度不是0，衍(yan)射失(shi)量(liang)能挨近土(tu)(tu)样(yang)的(de)样(yang)貌(mao)(mao)，但从来(lai)不在立体式内。

设定挨到90°的(de)y来(lai)完成面(mian)内前提下时(shi)，途(tu)经(jing)时(shi)两个2D帧图(tu)或(huo)用2D监测(ce)器扫描机(ji)才能(neng)或(huo)是测(ce)式大的(de)2q的(de)规模。该设定装配摆(bai)才都可以(yi)来(lai)查(cha)阅2D衍(yan)射(she)资料暂停相(xiang)阐(chan)(chan)发，应变速(su)率(lv)，能(neng)力和织构测(ce)式。根据图(tu)2中的(de)(a) 或(huo)(b) 设定装配摆(bai)才，备样上的(de)闪耀地(di)方为一(yi)款 耽(dan)误时(shi)间的(de)自己的(de)外观(guan)，受到的(de)降低的(de)2q分(fen)辩率(lv)，特别当查(cha)阅大方向角(jiao)的(de)2q衍(yan)射(she)图(tu)谱时(shi)。面(mian)内和面(mian)外的(de)2q分(fen)辩率(lv)的(de)基本꧟阐(cha൩n)(chan)发能(neng)从符合医学(xue)文献中发现。 

图(tu)2是(shi)差其(qi)它的(de)(de)(de)衍(yan)(yan)射(she)仪和(he)設置准(zhun)备(bei)虚设测评的(de)(de)(de)10nm厚的(de)(de)(de)Si片上(shang)的(de)(de)(de)NiSipet保护(hu)膜的(de)(de)(de)衍(yan)(yan)射(she)的(de)(de)(de)数据照表(biao)。该图(tu)形成 (a)面(mian)外GIXRD設置准(zhun)备(bei)虚设(OP-GIXRD2)寻找的(de)(de)(de)2D 图(tu)谱(pu)(pu)(pu)。 (b) IP-GIXRD設置准(zhun)备(bei)虚设(IP-GIXRD2) 寻找的(de)(de)(de)2D图(tu)谱(pu)(pu)(pu)。 (c)是(shi)IP-GIXRD2积分(fen)规则(ze)要先(xian)(xian)拿到的(de)(de)(de)1D图(tu)谱(pu)(pu)(pu)和(he)做(zuo)法的(de)(de)(de) 0D侦测器用 OP-GIXRD1形势(shi)要先(xian)(xian)拿到的(de)(de)(de)1D图(tu)谱(pu)(pu)(pu)的(de)(de)(de)照表(biao)。可以看出来了OP-GIXRD2的(de)(de)(de)衍(yan)(yan)射(she)图(tu)谱(pu)(pu)(pu)很弱言者于成黄(huang)色方向箭(jian)头标出来的(de)(de)(de)几个(ge🍌)峰先(xian)(xian)要发现。IP-GIXRD2能在(zai)30分(fen)内（三张(zhang)10分(fen)的(de)(de)(de)帧图(tu)）要先(xian)(xian)拿到大2q整体(ti)规模(mo)的(de)(de)(de)强衍(yan)(yan)射(she)图(tu)谱(pu)(pu)(pu)，而做(zuo)法0维(wei)衍(yan)(yan)射(she)仪寻找的(de)(de)(de)衍(yan)(yan)射(she)图(tu)谱(pu)(pu)(pu)花了1多个(ge)小。既然2q分(fen)辩率有减低且后台高(gao)，但IP-GIXRD2 依旧(jiu)会是(shi)为止急速pet保护(hu)膜定(ding)性分(fen)析的(de)(de)(de)好的(de)(de)(de)选择。