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XRD操纵先容 | 掠入射X射线衍射

更新时候:2023-12-06点击次数:2753
塑料塑料膜和珍珠棉材质 即是板材机的薄厚大于等于的納米到几块廊坊可耐电器有限公司之前的三层或几层材质 。而且板材机的薄厚借喻薄,塑料塑料膜和珍珠棉材只要依靠自己于充分条件的衬底材质 上面。做法XRD检测,XX电子束的击穿力强度普通级在几块廊坊可耐电器有限公司到一百多个廊坊可耐电器有限公司,这远弘远于塑料塑料膜和珍珠棉的板材机的薄厚,因为塑料塑料膜和珍珠棉的旌旗灯号会遭遇衬底的影响到(图1)。同一,追随衍射弯度的改变,XX电子束在合格品上的照亮占地面,慢慢急剧减小,XX电子束只可以影响到部分区域合格品,不了了操作全部都合格品的体型,衍射旌旗灯号弱。塑料塑料膜和珍珠棉掠入射衍射(GID:Grazing Incidence X-RayDiffffraction)挺好的解绝了综上所述一个题目。就是掠入射各指使XX电子束以很是小的入射角(<5°)照亮到塑料塑料膜和珍珠棉上,小的入射角很大的急剧减改小在塑料塑料膜和珍珠棉中的击穿力强度 。也低入射角很大的改变了XX电子束在合格品上的照亮占地面,改变了合格品到达现场衍射的体型。在这里有2个声明范文:GID目前专门的cpu配置装配摆放;做法GID只适合使用多晶塑料塑料膜和珍珠棉和非晶塑料塑料膜和珍珠棉,不适合使用多晶硅意义膜。下面先容了GID在塑料塑料膜和珍珠棉的布置阐发中的度化,一文GID数据库是在布鲁克D8 ADVANCE XX电子束衍射仪上进行的。 

实例一 单层薄膜GID测试

本例中原材料是在(100)多晶硅硅硅衬底上化学合成的14nm RuO2多晶溥膜。如图是1所以,规格XRD图谱中溥膜原材料的旌旗灯号被Si多晶硅硅的旌旗灯号袒护。降低图虽然可看到溥膜衍射峰,但旌旗灯号很是弱。图2中说出了入射角0.3度时,原材料的GID图谱。图里不Si多晶硅硅衬底的旌旗灯号,且溥膜旌旗灯号较着。操作全谱曲线拟合获得了了溥膜的晶胞技术参数、晶粒大小风疹病毒阳性和分子运动应力。

 

图1 RuO2薄膜惯例XRD测试图谱。

左图:单晶硅衬底的很强旌旗灯号;

右下图:RuO2薄膜的微小旌旗灯号;右上图:RuO2薄膜布局表示图。

图2 蓝色实线:RuO2薄膜掠入射衍射图谱,入射角ω=0.3°。白色实线:全谱拟合计较图谱,获得布局参数在右上角。

案列二 层层聚酰亚胺膜GID测试仪

当合格品为很多层塑料膜和珍珠棉时,途经全过程安装各不相同的入射想法,从而合理Xx射线在塑料膜和珍珠棉中的刺穿深入1,GID就可以被用作绝对塑料膜和珍珠棉知料的调整布局随深入1变动的信息查询。本例中的合格品为45nm NiO/355nm SnO2/钢化玻璃 。

图3 左图:不同入射角时,薄膜的GID图谱。右图:薄膜布局表示图及掠入射角度。

当以低立场omega=0.3°入射时,得到溥膜底层的万立方NiO。当入射角omega=0.5°时,有四正SnO2的衍射峰表现出,伴随入射角进十步赋予,SnO2的旌旗灯号逐层增強,声明范文有更加多的XX射线照亮到SnO2溥膜上。并且,两物相衍射峰的决对硬度与卡种相较比较(左图)够不知道,NiO和SnO2均有充分条件级别的倾向。此中SnO2的硬度不一样的很大,声明范文倾向更强。
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