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XRD操控(kong)先容 | 掠入射X电子束(shu)衍射
更新时候:2023-12-06
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实例一 单层薄膜GID测试
本例中原材料是在(100)多晶硅硅硅衬底上化学合成的14nm RuO2多晶溥膜。如图是1所以,规格XRD图谱中溥膜原材料的旌旗灯号被Si多晶硅硅的旌旗灯号袒护。降低图虽然可看到溥膜衍射峰,但旌旗灯号很是弱。图2中说出了入射角0.3度时,原材料的GID图谱。图里不Si多晶硅硅衬底的旌旗灯号,且溥膜旌旗灯号较着。操作全谱曲线拟合获得了了溥膜的晶胞技术参数、晶粒大小风疹病毒阳性和分子运动应力。 
图1 RuO2薄膜惯例XRD测试图谱。
左图:单晶硅衬底的很强旌旗灯号;
右下图:RuO2薄膜的微小旌旗灯号;右上图:RuO2薄膜布局表示图。

图2 蓝色实线:RuO2薄膜掠入射衍射图谱,入射角ω=0.3°。白色实线:全谱拟合计较图谱,获得布局参数在右上角。
案列二 层层聚酰亚胺膜GID测试仪
当合格品为很多层塑料膜和珍珠棉时,途经全过程安装各不相同的入射想法,从而合理Xx射线在塑料膜和珍珠棉中的刺穿深入1,GID就可以被用作绝对塑料膜和珍珠棉知料的调整布局随深入1变动的信息查询。本例中的合格品为45nm NiO/355nm SnO2/钢化玻璃 。
图3 左图:不同入射角时,薄膜的GID图谱。右图:薄膜布局表示图及掠入射角度。
当以低立场omega=0.3°入射时,得到溥膜底层的万立方NiO。当入射角omega=0.5°时,有四正SnO2的衍射峰表现出,伴随入射角进十步赋予,SnO2的旌旗灯号逐层增強,声明范文有更加多的XX射线照亮到SnO2溥膜上。并且,两物相衍射峰的决对硬度与卡种相较比较(左图)够不知道,NiO和SnO2均有充分条件级别的倾向。此中SnO2的硬度不一样的很大,声明范文倾向更强。
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