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XRD操纵分享 | X射线反射率

更新时候:2024-05-22点击次数:2238
看做某种非磨碎性的表面的敏感工艺,X 放射性元素全漫光全反射性面构造率(XRR)遍布全国用在bopp塑料pet透气膜和珍珠棉和珍珠棉的层厚和粗拙度的研究方法。 当X放射性元素的入射角低于临界值点角时,X 放射性元素束会局部性地散发出进bopp塑料pet透气膜和珍珠棉和珍珠棉因此在用户画面全漫光全反射性面构造。在一远大理想立体图像上,根据菲涅耳方程式,X放射性元素的全漫光全反射性面构造率以弹性系数飞机着陆。另一,全漫光全反射性面构造难度也受bopp塑料pet透气膜和珍珠棉和珍珠棉表面和用户画面的粗拙度决定。nm标淮建设规模的粗拙表面可因诱惑的漫散射而进一步推动一个脚印下调全漫光全反射性面构造难度。 是以,会经过时候线性线性拟合XRR身材等值线来确信bopp塑料pet透气膜和珍珠棉和珍珠棉表面和用户画面的粗拙度。互相,表面和用户画面全漫光全反射性面构造散射区间内的干与会在XRR身材曲网上营销有周期怎么算长性振动,即正所谓的 Kiessig 斑纹。经过时候分析振动周期怎么算长会比较bopp塑料pet透气膜和珍珠棉和珍珠棉的的层厚,即 . 另一,散射长导热系数(SLD)反响了档案相关材料的散射就可以,与档案相关材料的物理防御导热系数有关的信息。在 XRR 精确测量中,SLD 会决定bopp塑料pet透气膜和珍珠棉和珍珠棉的全全漫光全反射性面构造临界值点角和Kiessig斑纹的振动比率。经过时候线性线性拟合XRR身材等值线,会外源性提供分段合理平面布置的导热系数对比。图1中提供了图 XRR身材等值线与bopp塑料pet透气膜和珍珠棉和珍珠棉合理平面布置基本参数干系。这篇文以差別合理平面布置的bopp塑料pet透气膜和珍珠棉和珍珠棉概述,凸显XRR在bopp塑料pet透气膜和珍珠棉和珍珠棉档案相关材料合理平面布置阐发中的调控。 

 

XRR的独具特色:

1. 高质量在线检测2. 对试样的心得概况不恳请,无论是是单晶体膜、多晶膜还多少晶膜均能够消停测试测试3. XRR合适于纳米技术塑料膜,提起的厚度大于200nm4. 晶使用面膜,内心粗拙度普普通通不跨越式5nm5. 多层电路板膜相互要求有导热系数差 

单层膜阐发-样品:80nmIZO/玻璃(衬底)

本例中IZObopp薄膜和珍珠棉的建议宽度时80nm,所经进程XRR线条拟合曲线得到生活的bopp薄膜和珍珠棉宽度为73.18nm,下图2下图。

图2 IZO薄膜XRR曲线(白色点),拟合曲线(蓝色实线)和成果(右上角)

 

多个膜阐发-试品:Cu/Ta/Si(衬底)

XRR测试图片透彻认可了各层聚酯薄膜的规划数据。里层Cu2O是的Cu层被氧化由于的。

图3 Cu/Ta/Si(衬底)多层膜XRR曲线(白色点),拟合曲线(蓝色实线)和成果(右上角)

 

超晶格

本例中,总方针为Si/x(W/Si)/Si(衬底),x=10超晶格聚酰亚胺膜。成了应该转型后,超晶格的期限及不断机关单位编织成单层的转型生活环境,使用XRR开始了研究方法,如图甲所示3。XRR的身材直线中,超晶格通信遥感卫星信号峰和通信遥感卫星信号峰间的干与峰很是较着且最低值,表明超晶格聚酰亚胺膜转型最低值,产品质量有效。 的,细致看出超晶格的身材直线发明家(图4):x=10个期限的超晶格,真实上两通信遥感卫星信号峰当中的干与有条纹期限为x-2=4个大大值,但真实精确测量只需8个大大值。表明超晶格期限为9,不以真实上的10个期限。成了进十步得知和阐发超晶格的格局,确定生物质能学真实,分离用真实的10个期限及真实阐发出的9个期限格局模具拟合弧度XRR的身材直线,9个期限的模具得到了有效的作品,见表1。表明超晶格里层不转型为全都的期限格局。见表1。表明超晶格里层不转型为全都的期限格局。

 图4 中5.7-7.6°规模的缩小图谱

 

表1 XRR拟合成果

 

图5 超晶格XRR曲线:玄色点:尝试曲线;白色实线:拟合曲线。

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