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XRD操作介绍 | X光谱线散射率
更新时候:2024-05-22
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XRR的独具特色:
1. 高质量在线检测2. 对试样的心得概况不恳请,无论是是单晶体膜、多晶膜还多少晶膜均能够消停测试测试3. XRR合适于纳米技术塑料膜,提起的厚度大于200nm4. 晶使用面膜,内心粗拙度普普通通不跨越式5nm5. 多层电路板膜相互要求有导热系数差单层膜阐发-样品:80nmIZO/玻璃(衬底)
本例中IZObopp薄膜和珍珠棉的建议宽度时80nm,所经进程XRR线条拟合曲线得到生活的bopp薄膜和珍珠棉宽度为73.18nm,下图2下图。
图2 IZO薄膜XRR曲线(白色点),拟合曲线(蓝色实线)和成果(右上角)
多个膜阐发-试品:Cu/Ta/Si(衬底)
XRR测试图片透彻认可了各层聚酯薄膜的规划数据。里层Cu2O是的Cu层被氧化由于的。
图3 Cu/Ta/Si(衬底)多层膜XRR曲线(白色点),拟合曲线(蓝色实线)和成果(右上角)
超晶格
本例中,总方针为Si/x(W/Si)/Si(衬底),x=10超晶格聚酰亚胺膜。成了应该转型后,超晶格的期限及不断机关单位编织成单层的转型生活环境,使用XRR开始了研究方法,如图甲所示3。XRR的身材直线中,超晶格通信遥感卫星信号峰和通信遥感卫星信号峰间的干与峰很是较着且最低值,表明超晶格聚酰亚胺膜转型最低值,产品质量有效。 的,细致看出超晶格的身材直线发明家(图4):x=10个期限的超晶格,真实上两通信遥感卫星信号峰当中的干与有条纹期限为x-2=4个大大值,但真实精确测量只需8个大大值。表明超晶格期限为9,不以真实上的10个期限。成了进十步得知和阐发超晶格的格局,确定生物质能学真实,分离用真实的10个期限及真实阐发出的9个期限格局模具拟合弧度XRR的身材直线,9个期限的模具得到了有效的作品,见表1。表明超晶格里层不转型为全都的期限格局。见表1。表明超晶格里层不转型为全都的期限格局。
图4 中5.7-7.6°规模的缩小图谱

表1 XRR拟合成果

图5 超晶格XRR曲线:玄色点:尝试曲线;白色实线:拟合曲线。
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