面说的是物质表面是一个或若干个氧分子层的各地，是与间接止住应急物资对调和力量对调的节点，其脾气（如电生物学分为、氧分子摆列、電子请况等）与体相配备众多区分，都是资科的表面攻坚往往草案了资科/功率器件的听从和身体。是以，表面阐发对新资科、小白艺的创新相对至关重要。不时施用的表面阐发传统手工艺至关重要有XPS、AES和TOF-SIMS等，此中，AES传统手工艺也可以可能提交对奈米标共同点的表面止住电生物学阐发。俄歇自动化厂能谱仪（Auger Electron Spectroscopy，AES）容忍场使用自动化厂源入射图纸的相貌，激发起出三次自动化厂（使用描摹观察）和俄歇自动化厂（使用生物成分的材料阐发）。AES首要任务使用阐发气体的基本材质相貌納米宽度的稀有属性（布局生物态）生物成分的材料购成，才可以在納米级要求下对相貌描摹停此观察和生物成分的材料研究方法。AES的阐发宽度但凡是为4-50 Å，三次自动化厂显像的位置分辩达到3 nm，生物成分的材料散播像位置分辩达到8 nm，可阐发的基本材质相貌稀有属性购成（Li～U），是真正的納米级相貌生物成分的材料阐发配备。可以知道足合金属的基本材质、崔化剂、半导体材料、源动力系统的基本材质、自动化厂功率器件等的基本材质和化合物的阐发必须。

图1. AES根基道理

利用案例赏析[1]

2050年1二月17日，中国大嫦娥五号观测器曙光将1731克月壤带进太阳系。铁一种多价态原素，是月壤的重在铝合金化学成分。铁的钝化反应态表现了钝化反应拼回氛围，与玄武门岩行动起来、空間冻胀、挤压激发的蝶变等外外埠质守护进程密切亲蜜相干，干扰着火星沙子的结构和形成。月壤中覆盖全国存在着奈米级单质铝合金铁（Nanophase Iron Particles, np-Fe0），通过的过程中研究讨论嫦娥五号月壤中铁原素价态及散播优点，无望为np-Fe0的种地貌成因共识机制研究讨论提供了新依据。扫描仪扫描俄歇奈米电极必备条件很高的奈米级内心阐发骨康丸度，另外还就能够通过的过程中AES峰位及峰形阐发沙子中铁单质以及钝化反应物，是以是检查试品内心再生及钝化反应的有所帮助脚踝。

图2. 嫦娥五号月壤（CE5C0400YJFM00505）颗粒及扫描俄歇纳米探针阐发地位表现图。

荷电现象是有限AES在隔热岩土工程勘察材料阐发中凭借的关键坏处。扫锚电镜SEM中频繁用的在样件的相貌喷碳或以外导电层的体例对AES是不能现实可行的，由在类似于环境下喷涂料的导电材料会心理障碍AES侦测到主机样件。图甲2如下，月壤颗粒肥料的专题会进行规格< 100 nm的超溥FIB组织切片对岩土工程勘察样件已停AES阐发，这样会有的用降服了的相貌荷电现象，由电子元器件束会吸收薄片样件而减压反射至导电样件托。

图3. （a）月壤FIB切片中各相（编号与图2对应）的AES全谱；（b）Fe MNN的微分窄谱；（c）Fe MNN的积分窄谱。

在月壤富铁納米相粒状的价态和造谣专题讨论中，悦纳自己了PHI 700和PHI 710扫苗俄歇納米检测器的装备，阐发室重力作用小于等于 8.0 × 10-9 Torr，电子技术枪的提高电阻为10 kV，束流为5 nA。如下图表达3a表达，AES全谱资料文件标示FIB切成片首先是具有橄榄石、np-Fe0和硅基体。如下图表达3b表达，AES阐发资料文件标示AP-1和AP-2是Fe。CE5C0400YJFM00505-G2中Fe0的外形造谣是根据AES影象(图4f)自然的，其分辩率实现納米级，与TEM的EDS图像相当。然而，AES影象包罗Fe的价态内容，还有就是其外形舒经更高于EDS影象。该工作通过的过程 AES不只声明了嫦娥五号月壤粒状中具有却别价态的铁稀土风格，还可以获得了粒状上Fe稀土风格在納米原则上的二维造谣，为np-Fe0歧化发生变化因素提供给了转折点直接证据。该工作以发表文章“In situ Investigation of the Valence States of Iron-bearing Phases in Chang’E-5 Lunar Soil using FIB, AES, and TEM-EELS Techniques"发证于《Atomic Spectroscopy》。 

图4. (a) CE5C0400YJFM00505-G2的背散射电子图象。绿色矩形表现FIB位点。(b) TEM-EDS测绘地区的高角度环形暗场(HAADF)图象。(c) AES制图区的HAADF图象。(d) CE5C0400YJFM00505-G2提取的FIB箔HAADF图象。(e)铁的TEM-EDS图象。(f) Fe0的AES影象。 

参考文献

[1] Bing Mo, Zhuang Guo, Yang Li, Dan Zhu, Xiaojia Zeng, Xiongyao Li, Jianzhong Liu, and Yanxue Wu, In situ Investigation of the Valence States of Iron-bearing Phases in Chang’E-5 Lunar Soil using FIB, AES, and TEM-EELS Techniques. Atomic Spectroscopy. 2022, 43(1), 53-59. DOI:10.46770/AS.2022.014.