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布鲁ꦿ克(ke)最顶配(pei)台式机D6 PHASER应用(yong)上报(五)—超过载(zai)荷(he)阐发
更新时候:2024-07-10
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1、测试样品
本上报中,测试英文供试品为肌底上悦纳自己反差工序积聚自身的pe膜。此中,第22种pe膜供试品在氪环境中它是经过了阶段磁控溅射体例自身,第2种pe膜供试品在氩环境中它是经过了阶段 PVD体例自身。2种pe膜的情况均为钨,高度约为200 nm。2、测量技术指标
容忍Cu靶测试英文,电压工作电流和工作电流离别为40kV和30mA(1200W最大功率)。激光切割机的光路上,容忍0.2 mm的扩散狭缝和组选2.5度的索拉狭缝。侦测器在购选高筛选主要形式,启齿为5度。在购选多功用实用原辅料台,就能够推动原辅料的倾倒和弯曲,如下图1表达。
▲图1:多功效通用样品台
取舍钨的高立场晶面终止已满热应力阐发,主要是因为高立场衍射峰对晶面跨距的转移配备高活动度,这里的英文取舍(321)晶面(131度两边,2θ)。尊重同倾法检验,弯曲角(Psi)从 -四十五度 到 +四十五度 (共检验1七个点),图甲2图甲中。
▲图2:D6 PHASER剩余应力阐发
3、残余刚度測試重大成果
3.1 无应力应变原辅料
起首测试方法无热压力打样定制,来考取资格证书X电子束衍射仪的已用热压力仗量器能并不会是及格。依据 EN15305 实验室管理标准,对无热压力钨打样定制,如果是正热压力的仗量值低于+/-31 MPa (不都度:+/-31 MPa),因此截取视频热压力的仗量值低于+/-15.6 MPa(不都度:+/-15.6 MPa),就自认为衍射仪是及格的,就能停掉已用热压力阐发。图3提出了钨金属粉的剩的裁切力测试软件直线及阐发成就。经阐发确知,该样品英文的正裁切力为 -9.1+/- 2.7 MPa,裁切裁切力为 -4.8 +/-0.5 MPa。不管不顾正裁切力仍是裁切裁切力,其勘界值及不可能度,均在EN15305规范了经营的人数内,是以可能声明范文D6 PHASER衍射仪结束剩的裁切力阐发是及格的。
▲图3:钨粉末(无应力)的剩余应力测试曲线(左图)及阐发成果(右图)
3.2 薄膜样品
图4给予了第四种透气膜原辅料管理的残余弯曲剪截力比试验曲线拟合及阐发成果展。经阐发可以知道,该原辅料管理的正弯曲剪截力比为 -1258.4+/- 26.4 MPa,切剪弯曲剪截力比为 -8.1 +/-4.9 MPa。能够确定,在氪气中磁控溅射天生就的透气膜原辅料管理中显著过强的压弯曲剪截力比,马上1.3 GPa,因为切剪弯曲剪截力比一定-8.1 MPa。
▲图4:第1种薄膜样品的剩余应力测试曲线(左图)及阐发成果(右图)
图5做出了第2种pe膜样件的剩下刚度比考试的曲线及阐发结果。经阐发可以知道,该样件的正刚度比为 -1998.8+/- 53.5 MPa,剪接刚度比为 -20.1 +/-10.0 MPa。移觉氪气中磁控溅射自身的钨pe膜样件,在氩良好氛围中依靠的过程 PVD体例自身的钨pe膜样件中压刚度比不大,触达了就要2.0 GPa,的同时,剪接刚度比有着 所提高 。
▲图5:第2种薄膜样品的剩余应力测试曲线(左图)及阐发成果(右图)
4、会商
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