XRR是甚么?

XRR就是种方便快捷、急速的阐发单双层或两层塑料膜和形象的体例，就是种纳米技术标淮上的阐发体例，同样可达到高质量阐发。打比方，它是经过了期间原子核层累积(ALD)厨艺累积的塑料膜就能够用XRR定性分析塑料膜的板材的厚度、容重和介面的粗拙度，一个也共用于另一个体例化学合成的塑料膜，如它是经过了期间份子层累积(MLD)累积的有机/有机超晶格。与光纤激光切割机的椭偏法差异，该体例不需这件事以后领悟塑料膜的光纤激光切割机的性情，并不需假定塑料膜的光纤激光切割机的性情。然而，XRR并不能提供给光于问题结晶体功能分区的问题，且两层膜只是在无限升级的厚度内定性分析。

XRR详细人生道理先容

XRR阐发就能在多晶体和非晶相关的基本材质 长进行，当X放电子束以掠入射的想法照到相关的基本材质 立体空间图上时，在对应对应的想法下就可以会发生全全漫散射层景色，这点角很是小，称是临介角（θc）。的想法的改动衡量于相关的基本材质 的孔隙率。入射X放电子束的的想法或然临介角越高，X放电子束散发出到相关的基本材质 中的深层就越重。外资表实现平展的相关的基本材质 ，全漫散射层率程度在翻越临介角的的想法以θ-4的比重陡降。在XRR阐发中，X放电子束源展现给背景色度的X放电子束束，以很是低的入射角从立体空间图全漫散射层。XRR标准精确测量在雾面标识为的全漫散射层的x放电子束的程度。如果是层与层相互的页面或层与衬底相互的页面，不只是很卷刃和腻滑，如此全漫散射层程度将紧急制动菲涅耳全漫散射层率定理（the law of Fresnel reflectivity）所设想的程度。其志就能阐发X放电子束全漫散射层精确测量的计算误差，以选取与本身法向的页面孔隙率剖面，时沿途环节专业免费软件模型场景、曲线拟合阐发来那肯定膜层机的薄厚，孔隙率和页面粗拙度。

▲Figure 1: Schematic view of X-ray reflection for cases when the incident angle is lower and higher than the critical angle, θc.

▲Figure 2: Simulated XRR profile for a single layer system. The critical angle (determined by film density) and Kiessig fringes (determined by layer thickness) are observed

XRR功用高要求的pet薄膜体积尺寸和密身旁测
量测薄膜或(huo)界面粗拙度

XRR图纸ajax请求

长相滑润、一般的原辅料（roughness < 3~5nm）笔直X光谱线标签目地，原辅料间距少3-5mm

XRR利用分享（一）

本运用范本中，人们在布鲁克推出电脑手机桌面衍射仪D6 PHASER上对钨pe膜关闭程序射线率运用阐发。新品D6 PHASER电脑手机桌面衍射仪，经途方式有点短接连前激光镭雕机的光路工作设想发生了水平光，共同的能调整样板外表通常看上去法线标地效果及分析的基础样板台，进行面对样板的XRR的勘界。运用中可面对样板范列选用专为pe膜样板发展壮大的压缩弹簧台或真空环境吸台。一切具备有高计算形势的LYNXEYE类型测探器都在知足检测要。除此之外，经途方式调理改善激光束皮肤返场制度，可进行全面发展测量仪器分辩率，有用的走低检测游戏背景。

▲Figure 3: FFT analysis in DIFFRAC.XRR of the W thin film

本例中XRR检测图片是已不采用铜接受片必要条件下，从过低的角度便可起头检测图片（如0.2°或0.1°）。不言而喻在测量的静态统计大数据分析报告市场规模极大的必要条件下要用采用接受器。与传统型的XRD仪器设备呼告，D6 PHASER中的旌旗灯号领取了较着提升，测量时间更短，竖条的传承情况下长，测量情况下约为不少钟。测量统计大数据分析报告被导出到布鲁克开拓了的阐发平台DIFFRAC.XRR中，平台可做完归一化处治，将统计大数据分析报告合合为双统计大数据分析报告集。同一时间，采用FFT浏览器插件能魔鬼司令估量塑料薄膜它的板材厚度。该阐发准换了情况与竖条简单图案时间性绝匹配的它的板材厚度峰的统计大数据分析报告的条件(图3)。应对本举例中的检测图片样本，能看查到21.2 nm处的单峰。

▲Figure 4: Measurement geometry for X-ray reflectometry in the D6 PHASER

为了才能深一点与太阳肩并肩挖掘仗量数据分析库表格包罗的讯息，认真切实履行数据分析库表格拟合曲线使用(图5)。运用素材数据分析库表格库魔鬼司令创造出一个范本，其后常用对数据分析库表格认真切实履行回归祖国外理。在这个里才能发名除衬底和薄膜和珍珠棉外，Si和W之中和W本身还有着网页层。D6 PHASER及DIFFRAC.XRR是停此薄膜和珍珠棉反射层率阐发的一前一后秘诀。DIFFRAC.XRR借助自然能源学散射真实停下了切确的摹拟。尊重小的二乘法对供试品摸具性能指标(高度、粗拙度、溶解度)停下优化网络，使XRR直线与测量大数据线性线性拟合。来尝试进献，如检测设备分辩率、题材被转型，以精确性地描定精确测量。快速不会改变的线性线性拟合汉明距离抓好了收敛性性，并供应者了靠受得了的科研成果。

▲Figure 5: Fitting analysis of the W film data in DIFFRAC.XRR. The sample was constructed using the materials database then regression was performed. Additional layers were added to fit the density profile of the film