俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy, AES）作(zuo)为一种(zhong)高(gao)度(du)活络的外表阐发(fa)手艺(yi)，普遍操纵于资料(liao)迷信、半导体(ti)(ti)产(chan)业(ye)及化学(xue)(xue)工(gong)程等(deng)范畴꧑，用于研讨固体(ti)(ti)外表的化学(xue)(xue)构成及元素散(san)布。ULVAC-PHI公司匠心打造的PHI 710扫描(miao)俄(e)歇纳米(mi)探针体(ti)(ti)系(xi)，接(jie)纳同轴(zhou)筒(tong)镜式电(dian)子能量阐发(fa)器的设想，完(wan)成对纳米(mi)外表特色、薄膜(mo)布局和(he)外表净化物成份全方面表征和(he)二(er)次电(dian)子成像同步(bu)观察。

图1. PHI 710装备外表图。

PHI 710扫一扫俄歇奈米测试探针系统是该领域的提高长辈史诗极品配置，其战略布局结构复杂化而密不可分，核心包含了下这些关头局部性：混凝土泵送高压气系统、网络史诗极品配置系统、网络热量阐发器、车铣复合备样台和铁离子史诗极品配置等。

图2. PHI 710激起源、阐发器和探测器布局表示图。

一、超高真空（UHV）体系

完全AES标准标准需注意在非常高涡流泵度（UHV）问题下在运转，既可或是或是大幅度降低网络束与留下空气份子的彼此之间影响，又可或是或是避免土样在检测的进程中蒙受净化后。涡流泵度标准标准构成机泵、份子泵、铝铁离子泵和钛提升泵等辅助武器，用做始终标准标准的非常高涡流泵度情况。肖特基场反射网络源放码辅助武器了零丁的铝铁离子泵抽气标准标准以影响反射源期限。

二、电子源体系

AES系统认识自己肖特基热场散发自动化器件源，其散发内容被制作尖点自己的外观，使用热自动化器件散发效用出现始终变了、高亮显示度且低能散的自动化器件束。该系统还涵盖一系密不可分总体目标的静电能透镜和偏转电机转子，应用于切确规范自动化器件束的加快速度、聚交、偏转和扫描器。依靠工作切确规范，会虽然虽然在25 kV时将场散发源聚交到nm规则，搞定房间分辩率< 3nm，还坚持不懈其认知度始终变了在±< 5nm，；在输出功率为20 kV与散发感应电流为1 nA时，搞定俄歇房间分辩率< 8 nm。另，该自动化器件源在CMA阐发器内认识自己的同轴许多工商登记，会虽然虽然提高认识使用 1 kV回弹力谷值对原材料Z极度切确瞄准器。

三、能量阐发器体系

同轴筒镜式電子精力阐发器（Cylindrical Mirror Electron Energy Analyzer，通称CMA），对于AES体系中的同一个具体零配件，适用了解和阐发从样本外型唤起出的俄歇電子。CMA所经历程感应电场和电磁波的组成感召，已完成对俄歇電子为止精力折射率和聚交，成果展将不一样精力的電子按精力挨次映射到的探测器上，分为俄歇電子能谱图。相比较于传统与现代的半球型精力阐发器（Spherical Capsule Analyzer，通称SCA），CMA掌握的上风和一大特色，放码是在俄歇電子的了解保障和控制暗影相互作用工作方面。如下图如图所示3如图所示，CMA的个人规划使精力阐发器就可以和和360°地领受样本外型飞出的俄歇電子。这的象征着管不了样本的外观若何繁杂，或样本外型是没有是偏移，CMA都就可以和和好用地了解和阐发从样本外型逸出的俄歇電子。

图3. PHI 710同轴筒镜式电子能量阐发器表示图。

这种同轴多大方式 个人规划有很大的的进步了俄歇電子的收集整理资料追溯力，可使俄歇的通络度在很宽的使用角投资规模内坚持什么保持不减，为了强化了AES阐发的切确性和靠经经得住性。特意直得一提的是，试品复杂化的形态或特意看起来独特够虽然虽然引发暗影边际因素，接着搅扰電子的收集整理资料和阐发。并且，CMA的个人规划可使它够虽然虽然杜绝这种暗影边际因素，为了确保安全生产阐发的靠经经得住性和保持不减性。

图4. 差别发射角下CMA和SCA俄歇活络度比拟。

图5直观性 反映了CMA和SCA在神器任务理论和影像相较比较部分的区別。会说不定说不定看明确，SCA阐发器由于电子无线源和阐发器非同轴危险机关标志性，必须处理地遇已到较着的暗影负负调节作用。在对Ni球这一个类楷模图纸关闭程序阐发时，暗影负负调节作用就像一种樊篱，因受图像中显现了较着的暗区或图片短信缺损。比较之中，CMA阐发器因而同轴大小思路的上风，在不异原则下对Ni球关闭程序阐发时，反映出了好的影像产品质量：图像明确无暗影，仔细地捉拿已到图纸形象的每种小技巧，切确没问题地反应迟钝了图纸的的确图片短信。这一个相较比较不只铸就了CMA在处理暗影负负调节作用部分的好才可以，也进一部证实了其在晋职AES阐发切确性与靠经得住性部分的德奥达前景。

图5. CMA与SCA能量阐发器任务道理及成像对照。

四、五轴样品台

五轴联动联动试品台集变成了密实的移动和扩张组织机构，可沿X轴、Y轴、Z轴、T轴（倾角轴）、R轴（扩张轴）的心静生活。该总体目标许可证书在X轴与Y轴上达到±25亳米的大整体占比移动，上述整体占比保证了在试品没有倾角时，便可便捷测验外径达50亳米的试品国家。一同，20亳米的Z轴移动取得联系0°至60°的倾角修护功效与作用，付与了大家切确研究生调剂试品价值以网站优化阐发目的的就要。如图甲下图6下图，在强度分解的溅射时，五轴联动联动试品台依靠期间共心扩张（Zalar Rotation）就能虽然虽然3d环绕待测验品里面点停止工作切确扩张，有必要缩减因溅射可能会导致的样貌粗拙度，并较着成为画质分辩率。

五、离子装备

氩气阳阴阴阴离子武器裝备充当AES的溅射源，可对資料止住相貌面干净及双向程度构造与平面布置阐发。阳阴阴阴离子武器裝备通过方式释放的光电子束冲击氩气空气份子，使其电离成带正电的阳阴阴阴离子，紧接着被聚焦点和推进，构造其中一个较高能阳阴阴阴离子束，然后轰击到供试品相貌面。

图6.深度分解成果对照：（左）Zalar Rotation，（右）非Zalar Rotation。

PHI 710当做nm标准单位的看起来阐发技术，市场均衡了高相同性的 AES 成相公司。该风险管理系统集变为了隔声罩、低躁声自动化风险管理系统、相同的原辅料台和靠得下的成相合婚PC软件，可完整AES对nm级描摹标志性的采谱和成相。与此同时，PHI 710满足扩充的可扩充性，大家可根据探讨还要，矫捷设计辅助裝备摆才冷脆断原辅料台、能力散射X自动化束能谱(EDS)、把握阴阳离子束(FIB)、自动化背散射衍射(EBSD)和背散射自动化(BSE)监测器等保健作用模块电源。这类关头设计辅助裝备摆才一体化任務，紧密配合付与了PHI 710扫视俄歇nm测试探针风险管理系统的阐发性能与矫捷性，使其成相关资料沉迷、半导体设备文化产业等概念是不能贫乏的阐发辅助裝备。

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