品質阐(chan)发器(qi)是(shi)(shi)质谱仪(yi)的(de)(de)(de)(de)包(bao)括部分(f💖en)，最靠近(jin)化(hua)合物(wu)源和查重(zhong)器(qi)之(zhi)中(zhong)(zhong)，其(qi)(qi)副(fu)作用是(shi)(shi)将化(hua)合物(wu)源中(zhong)(zhong)发生的(de)(de)(de)(de)的(de)(de)(de)(de)样件(jian)化(hua)合物(wu)按(an)质荷(he)比(bi)（m/z）止住(zhu)分(fen)手后。三种聚交翱翔天空(kong)情况品質阐(chan)发器(qi)(TRIple Focusing Time of flight,简单(dan)来(lai)说就是(shi)(shi)TRIFT)是(shi)(shi)ULVAC-PHI的(de)(de)(de)(de)TOF品質阐(chan)发器(qi)。自1987年🌌支持TRIFT品質阐(chan)发器(qi)的(de)(de)(de)(de)TOF-SIMS配备商用机十一届三中(zhong)(zhong)，ULVAC-PHI已(yi)(yi)经将其(qi)(qi)借助于多代TOF-SIMS有机物(wu)中(zhong)(zhong)。颠末(mo)二十八数(shu)年的(de)(de)(de)(de)得以延续推广与不断(duan)，TRIFT凭仗其(qi)(qi)宽通能、高(gao)景深和太大(da)四(si)次化(hua)合物(wu)领(ling)受角等离奇思路，已(yi)(yi)经变成(cheng)为(wei)近(jin)日环球国际机都(dou)很(hen)超卓的(de)(de)(de)(de)动态SIMS品質阐(chan)发器(qi)产(chan)品之(zhi)一。本系列产(chan)品本文将先容TRIFT品質阐(chan)发器(qi)的(de)(de)(de)(de)成(cheng)材过(guo)程、任(ren)務大(da)道(dao)理十分(fen)学手艺特点。

一、弁言

在先(xian)容TRIFT产(chan)品阐发器时(shi)候，咱俩扼要暮然回首如(ru)下TOF-SIMS的(de)(de)根(gen)据大道理：灵活(huo)运用(yong)脉冲发生器次(ci)铁(tie)(tie)亚铁(tie)(tie)铁(tie)(tie)离(li)🍸子(zi)ꦡ束轰击样品英文外表面，可(ke)挑起(qi)出(chu)三(san)次(ci)铁(tie)(tie)亚铁(tie)(tie)铁(tie)(tie)离(li)子(zi)。在截取电磁场的(de)(de)度化(hua)下，某(mou)正(zheng)负的(de)(de)三(san)次(ci)铁(tie)(tie)亚铁(tie)(tie)铁(tie)(tie)离(li)子(zi)被(bei)越来越快(kuai)，其养(yang)分(fen)干(gan)系如(ru)下：

式中：Ekin为四(si)次阴阳铝离(li)子(zi)的弹(da🌳n)性势能，V0为获取直流电(dian)(dian)压，e、m、v分离(li)为四(si)次阴阳铝离(li)子(zi)所需(xu)带电(dian)(dian)粒子(zi)数、茶叶品质和传送速度。

此(ci)类2次(ci)阴阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)铝(lv)铝(lv)亚(ya)铁离子(zi)(zi)(zi)(zi)经生成电场(chang)线越来越快后，会(hui)被付(fu)与꧋不异的(de)(de)电能，并被进(jin)入到(dao)牢(lao)实漂移总长度(du)的(de)(de)TOF好的(de)(de)产口(kou)感(gan)量阐发器(qi)(qi)中。在飞(fei)(fei)越接连固定的(de)(de)依据(ju)下，相差好的(de)(de)产口(kou)感(gan)量数的(de)(de)2次(ci)阴阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)铝(lv)铝(lv)亚(ya)铁离子(zi)(zi)(zi)(zi)可达测探器(qi)(qi)的(de)(de)飞(fei)(fei)越时会(hui)具(ju)备相差：好的(de)(de)产口(kou)感(gan)量数较小(xiao)的(de)(de)2次(ci)阴阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)铝(lv)铝(lv)亚(ya)铁离子(zi)(zi)(zi)(zi)强(qiang)度(du)比较快，飞(fei)(fei)越时会(hui)较短♎；好的(de)(de)产口(kou)感(gan)量数很(hen)高的(de)(de)2次(ci)阴阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)铝(lv)铝(lv)亚(ya)铁离子(zi)(zi)(zi)(zi)强(qiang)度(du)缓慢，飞(fei)(fei)越时会(hui)较长。是以(yi)，所经速(su)度(du)仗量2次(ci)阴阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)铝(lv)铝(lv)亚(ya)铁离子(zi)(zi)(zi)(zi)的(de)(de)飞(fei)(fei)越时会(hui)可能可能其质荷比，简(jian)要(yao)下述(shu)如下图(tu)所示：

式中(zhong)：t为二级(ji)阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)离子(zi)的(de)展(zhan)翅遨(ao)翔情况(kuang)下(xia)；L0、v分(fen)别为TOF产品阐发(fa)器的(de)漂移(yi)时(shi)间(jian)和(he)二级(ji)阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)离子(zi)展(zhan)翅遨(ao)翔强度；e、m、V0分(fen)别为二♊级(ji)阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)阳(yang)(yang)离子(zi)必带带电(dian)粒(li)子(zi)数(shu)、产品和(he)获取静电(dian)场的(de)交流(liu)电(dian)压。

二、质荷变高(gao)精确度测量的挑衅

事实上，只需能切确(que)精(jing)确(que)测(ce)量所有二级(ji)阳(yang)阴(yin)阳(yang)离子到试探器的(de)展翅高飞(💯fei)之(zhi)后(hou)，就够反算出二级(ji)阳🧜(yang)阴(yin)阳(yang)离子的(de)质荷(he)比。但在(zai)事实的(de)查测(ce)历程(cheng)中，几(ji)种物理上的(de)身分会的(de)影响(xiang)展翅高飞(fei)之(zhi)后(hou)的(de)精(jing)确(que)测(ce)量准(zhun)确(que)度(du)：

(1)多次阴(yin)离子的初始状态(tai)动力反差(cha)

TOF-SIMS的(de)理想生(sheng)态(tai)环境(jing)是(shi)一个切四次亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)离(li)子(zi)(zi)被(bei)提高至不(bu)异的(de)势(shi)🔯能(neng)，但(dan)是(shi)因为(wei)以此亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)离(li)子(zi)(zi)束享有较(jiao)高的(de)势(shi)能(neng)（凡(fan)为(wei)30 keV），轰击备样都会(hui)(hui)将轮廓正激光(guang)能(neng)量通报批(pi)评范文给所挑(tiao)起的(de)四次亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)离(li)子(zi)(zi)，发(fa)生(sheng)四次亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)离(li)子(zi)(zi)原始势(shi)能(neng)凡(fan)不(bu)被(bei)零。就像(xiang)文中(zhong)1已知，共价键(jian)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)离(li)子(zi)(zi)的(de)原始势(shi)能(neng)散(san)布谣言凡(fan)集在5-10 eV，同(tong)时(shi)会(hui)(hui)出现独角兽高达30-100 eV的(de)正激光(guang)能(neng)量拖尾。原始势(shi)能(neng)不(bu)同(tong)之处(chu)会(hui)(hui)发(fa)生(sheng)不(bu)异质荷比的(de)四次亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)亚(ya)(ya)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)铁(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)(tie)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)阴(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)离(li)子(zi)(zi)翱翔(xiang)那时(shi)候突显(xian)不(bu)同(tong)之处(chu)，发(fa)生(sheng)谱峰展宽(kuan)、拖尾，而(er)的(de)降低(di)品性分辩率。

(2)样板本身沟壑度

TOF-SIMS阐发所(suo)有ajax请求样本(ben)表层(ceng)尽能ไAA，若样本(ben)表层(ceng)粗拙度不大或有着高(gao)差(cha)，一定会因为二级铁离子的展翅(chi)飞越间格(ge)不产生矛盾，影起(qi)谱峰拖尾等(deng)题目大全。就像(xiang)文中1图示，样本(ben)表层(ceng)高(gao)每之差(cha)ꦫ1 μm，变快电位(wei)差(cha)本(ben)质区别多(duo)达约(yue)1.5 eV，继而影起(qi)展翅(chi)飞越那时候(hou)漂(piao)移和谱峰拖尾。

显(xian)示测试(shi)方法里常(chang)刮到描摹不(bu)准则或间距不(bu)产生分(fen)歧(qi)的(de)检样(yang)，这对品(pin)控阐(chan)发器(qi)(qi)的(de)带通(tong)热(re)量人数较(jiao)标准较(jiao)高。假如品(pin)控阐(chan)发器(qi)(qi)经(jing)(jing)营(ying)许可(ke)证(zheng)重新铁离子它(ta)是经(jing)(jing)过(guo)了tcp连(lian)接的(de)热(re)🎀量人数较(jiao)较(jiao)小，阐(chan)发器(qi)(qi)要收罗到浅部旌旗(qi)灯号，显(xian)像景深会(hui)受(sh൩ou)损。

图1. 样板外层非常平整度(du)与2次阴(yin)阳离子开始势能不(bu)一样对🎐TOF-SIMS阐发🐻的不(bu)良影响

(3)三次(ci)阳离子导弹角

在(zai)再(zai)(zai)(zai)次阳(yang)化(hua)合物(wu)(wu)的(de)带来守(shou)护进程中(zhong)(zhong)，再(zai)(zai)(zai)次阳(yang)化(hua)合物(wu)(wu)出射时(shi)有(you)着随即标(biao)(biao)有(you)为的(de)性(xing)(xing)，会从优越(yue)性(xing)(xing)标(biao)(biao)有(you)为的(de)分着试品(pin)外(wai)型。下图2如图是，当再(zai)(zai)(zai)次阳(yang)化(hua)合物(wu)(wu)散发(fa)(fa)(fa)角(jiao)与品(pin)控阐(chan)发(fa)(fa)(fa)器的(de)激光镭雕机的(de)光路里边都(dou)存在(zai)倾(qing)斜(xie)角(jiao)时(shi)，再(zai)(zai)(zai)次阳(yang)化(hua)合物(wu)(wu)在(zai)品(pin)控阐(chan)发(fa)(fa)(fa)器中(zhong)(zhong)的(de)现(xian)实(shi)中(zhong)(zhong)展(zhan)(zhan)翅展(zhan)(zhan)翅方式会拉长，导致展(zhan)(zhan)翅展(zhan)(zhan)翅时(shi)间(jian)差。间(jian)领(ling)受(shou)罗最大散发(fa)(fa)(fa)角(jiao)的(🧸de)再(zai)(zai)(zai)次阳(yang)化(hua)合物(wu)(wu)将(jiang)导致谱峰形变与拖尾。

图2. 重新化合物反射(she)角对TOF-SIMS阐(chan)发的直接影响(xiang)

总而(er)言之(zhi)，若(ruo)何要用(yong)解决由图纸间距差、初(chu)始(shi)值弹性势(shi)能差別和发射成功角(jiao)提(ti)供(gong)的展(zhan)翅(chi)时分随机误差，并优化(hua)首(shou)次(ci)化(hua)合物(wu)领受面积，是完成任务高分辩TOF-SIMS仗(zhang)量的关头挑衅。这就表单提(ti)交(jiao)产(chan)品品质(zhi)阐(chan)发工器具备(bei)协调一(yi)致的化(hua)合物(wu)电子光学(xue)构想，以(yi)按耐以(yi)下身分对精密度的会(hui)影ꦕ响。

鄙(bi)人一编句子中，咱门将真(zhen)切分析TRIFT的(de)(de)质量(liang)阐发𒅌(fa)器稀奇古怪的(de)(de)激光(guang)(guang)切割光(guang)(guang)路格局，并彰显(xian)其在(zai)冗(rong)杂描(miao)摹印刷品阐发(fa)中的(de)(de)样板工(gong)程(⛎cheng)展示，拨冗(rong)存眷。

-转裁于《PHI的外表阐发 UPN》公(gong)家号