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MDPmap单晶和多晶硅片寿命丈量仪
产物简介

MDPmap单晶和多晶硅片寿命丈量仪被设想成一个松散的台式非打仗电学表征东西,用于离线出产节制或研发,在稳态或短脉冲鼓励(μ-PCD)下,在一个宽的注入规模内丈量参数,如载流子寿命、光导率、电阻率和缺点信息。主动化的样品辨认和参数设置许可轻松顺应各类差别的样品,包含内涵层和颠末差别制备阶段的晶圆,从原生晶圆到高达95%的金属化晶圆。

产物型号:MDPmap-1
更新时候:2025-11-04
厂商性子:代办署理商
拜候量:2903
到底先容在线留言

MDPmap:     

多(duo)晶硅(gui)和多(duo)晶硅(gui)片(pian)时♌间测量准(zhun)备于繁杂的质料研讨(tao)会和确(que)立(li)。ꦑ         

       

        

特色:        

◇  灵活🐲度(du):高的灵活度(du),采用可视化(hua)分析(xi)至今结束无法(fa)见的缺(que)陷:和(he)手机查询(xun)作客(ke)內涵层的环镜        

◇  精确测量𝔉强度:65英(ying)寸硅片<5min,分辩比率1mm    ꦍ;    

◇  生存(cun)期(qi)的规模:20ns🐷到数十ms        

◇  再生测(ce)试:来自坩埚和的(de)装(zhuang)备的(de)铝合(he)金(铁)再生      ꧃  

◇  勘界方能:从切❀除好的硅片到(dao)精(jing)加工(gong)的检样(yang)  🧔      

◇  矫捷性:坚(♎jian)固的精确测(ce)量头要(yao)与内部人员激光束器(qi)毗(pi)连(lian)并开启        

◇ &nb𒆙sp;靠(kao)受得了(le)性(xing):模块(kuai)图片(pian)化和松(song)松(song)垮垮型台式机(ji)医疗仪(yi)器,靠(༺kao)受得了(le)性(xing)更大,平常(chang)暖(nuan)机(ji)情况下>99%        

◇  频繁性:> 99%      ⭕;  

◇  热敏功率电(dian)阻率:热敏功率电(dian)阻率测(ce)量测(ce)绘,需频(🃏pin)仍(reng)标(biao)定        

       
手艺规格:         

试(shi)样外形(xing)尺寸(cun)       &nb💖sp;           &n🌞bsp;    

外径(jing)达300mm(正(zheng)确台),外径(jing)达450mm(个(ge)性),*小为5 x 5ꦏmm                        

使用期限(xian)测量建设(she)规模(mo) 

20ns至十多ms大于 

阻值率             &nbꦕsp;          

0.2 - >10³Ω·cm,p-型/n-型                    🙈;    

试品資料           &nbsꦺp;  🅷          

硅片、内容层、整ܫ体(ti)或生产(chan)制造的硅片、有机(ji)化合物(wu)半导体(ti)材料及更加多(duo)文件                       🐷 

可侧量的的特征

耐(nai)用度 - μ-PCD/MDP (QSS), 光(guang)导率 

激发光(guang)波波长(zhang)         &nbs𝓀p;     &nbᩚᩚᩚᩚᩚᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ⁤⁤⁤⁤ᩚ𒀱ᩚᩚᩚsp;        

辨别从355nm到(dao)1480nm的*多十二个很大(da)激发(fa)光谱。980nm(默认)             𝐆           

尺寸图规格为                       &nꦗbsp;

空间:680 x 380 x 450mm;信噪比(bi):约65Kg  ౠ         &nbဣsp;            

电源线     💝     🦋              

100 - 250V, 50/60 H💖z, 5 A       🅘                 










MDPmap单晶和多晶硅片寿命丈量仪 - 细节:       

◇  适用于科研开发或产出监察的矫捷测量测绘商品      

◇  MDPmap被工作设想成(cheng)小(xiao)个涣散的(de)台式(shi)机(ji)非实战电学定(ding)性分析地方,在网页(ye)版出厂放肆或新(xin)产品(pin)研发,在准稳态或短脉冲信(xin)号鼓励的(de)话(μ-PCD)下,在1个宽的(de)进入整体规模内精确测量性能参数如(ru)何设置,如(ru)载流(liu)子时间、光(guang)导率、功率电阻率和缺(que)点有哪些的(de)信(xin)息。积极化的(de)土样辨别和性能参数如(ru)何设置如(ru)何设置经(jing)营(ying)许可资(zi)料(liao)轻轻松松历史(shi)潮流(liu)各种(zhong)类型差(cha)其它土样,含有意义层和颠(dian)末(mo)差(cha)別备制一阶(jie)段的(🌠de)晶(jing)圆,从(cong)安卓原生(sheng)系统晶💞(jing)圆到高达hg95%的(de)金(jin)属质化晶(jing)圆。        

◇  MDPmap的(de)重中之(zhi)重优点(dian)是它的(de)间距(ju)矫捷(jie)性,钢巴(ba),它经(jing)营许(xu)可证智能(neng)家(jia)居(ju)控制达到十个(ge)机光(guang)𒀰束器,适用勘界从较低(di)到高(gao)的(de)获取(qu)的(de)情(qing)况的(de)年限,或它是经(jing)过了进程(cheng)充分利用差(cha)(cha)同一机光(guang)束主(zhu)波长(zhang)添(tian)加广度个(ge)人信息。收录偏置(zhi)(zhi)光(guang)工(gong)作方(fang)案政策,和μ-PCD或准稳(wen)态传递目的(de)的(de)应用设𝓰(she)置(zhi)(zhi)。才(cai)能(neng)用差(cha)(cha)另外舆图已(yi)停企业(ye)界说(shuo)的(de)斤斤计较,也(ye)要够输入首先参数(shu)已(yi)停进三步(bu)评议。对(dui)规程(cheng)的(de)测量责任担当,预界说(shuo)的(de)规程(cheng)就是按着两个(ge)开关按钮就才(cai)能(neng)已(yi)停习惯勘界。            


 附加选项:        

       

◇  黑斑粗细的更改       

◇  功率♋电阻(zu)率测量(晶圆)      🅷  

◇  方块阻值&♋nbsp;       

◇  游(you)戏背景/偏光&n෴bsp;  &n🍰bsp;    

◇  漫反射精(jing)确(que)测量(MDP)   &nไbsp;    

◇  太(tai)陽能电池(chi)组的LBIC(分散性尺(chi)寸(cun)测量)ꦯ   &nꦿbsp;    

◇  偏压MDP     💝   

◇  参照晶圆 💮       

◇  硅的内外(wai)部/内外(wai)部🎃铁(tie)质图        

◇  结(jie)合供暖(nuan)台&nbꦛsp;       

◇  矫捷(jie𓄧)的皮秒激(ji)光器设(she)计(ji)配备摆(bai)放 


MDPmap单晶和多晶硅片寿命丈量仪 - 测量成功案例:

&nbඣsp;            𒆙   

   &n🐽bsp;            

钝化多晶硅的寿命图  𝕴              

多晶硅的铁净化图            

         🦩       

     &n🃏bsp;         &nb﷽sp;

单晶硅的硼氧图            单晶硅的缺点密度图            
          
碳化硅内涵片(>10μm)-多数载流子寿命mapping图(平均寿命τ=0.36μs)            
            
高阻硅片(>10000Ω·cm)-多数载流子寿命mapping图            
            
非钝化硅内涵片(20μm)-多数载流子寿命mapping图            


MDPmap 利用:

铁氧浓度检验        

铁的含(hꦜan)(han)量(liang)的切(qie)确检测时间长短常(chang)通(tong)常(chang)的,因(yin)铁是硅中富饶也是没有(you)害的不(bu)足之处之1。是以,有(you)必须(xu)尽会精确度高和魔(mo)鬼(gui)司令地侧量(liang)铁含(han)(han)量(liang),享有(you)很是高的分辩率且**是免费在(zai)线的        

其他......        

     

搀杂检样的光电材料导率测量        

B和(he)P的搀杂(za)在微电子产业中有(you)很多利用,但(dan)到今(jin)朝为(wei)止(zhi),不体例能够在不打仗样品和(he)因为(wei)须要的退火步(bu)骤而(er)转变其性(xing)子的环境下查抄这(zhei)些搀杂(za)的总(zong)值(zhi)性(xing)。迄(qi)今(jin)为(wei)止(zhi)的坚苦……        

更大......        

       

       

套路质量浓度判断        

圈套中(zhonꦺg)间长短常主(zhu)要(yao)的(de),ꦛ为了领会资(zi)料中(zhong)载流子的(de)行动(dong),也(ye)能够对(dui)太(tai)阳能电池(chi)发生影(ying)响。是以,须(xu)要(yao)以高(gao)分辩率丈量(liang)这些圈套中(zhong)间的(de)加盟陷阱黏度和滋养(yang)能。        

更多的......        

       

       

流入相干精确测量        

多数载流(liu)子寿(shou)命激烈依靠于注入(ru)(多余余载流(liu)子浓度(du)(du))。从寿(shou)命曲线的外(wai)形和高(gao)度(du)(du)能够(gou)揣(chuai)度(du)(du)出搀杂🐭复合型前面和掳获之间的信(xin𝐆)息(xi)。        

非常多......        

      


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