详细资料：

GCIB-70 离子源体系是种70 kV高包能(neng)空气(qi)团簇铝铁(tie)离(li)子束(shu)，可发生(sheng)的高强度对焦的团簇铝铁(tie)离(li)子束(shu)，使用高分辩率三维成(cheng)🐼像SIM，要(yao)具(ju)备(bei)高品🐷质的灵(ling)活度。

在(zai)SIM꧂S中根据(ju)气(qi)休团簇束的益处这一刻已拿到(dao)充(chong)裕證明； 高品味团簇在(zai)溅射(she)硅(gui)酸、生(sheng)物(wu)(wu)工(gong)程和汇聚物(wu)(wu)材质 时(shi)很是要用(yong)， 是可(ke)以或是发生(sheng)了(le)高出产(chan)量的彻底(di)份子(z♓i)铁离子(zi)。

只不过，到近(jin)日就(jiu)行(xing)，他们粒🦂子束的范(fan)围分(fen)辩率只只限(xian)几微米。GCIB 70这时候市场出(chu)清(qing)了气物团簇(cu)(cu)要用的高分(fen)辩率，将团簇(cu)(cu)正离子束集中ܫ(zhong)到如果1.5µm。

GCIB-70 离子源体系也只能(neng)在Ionoptika的J105 SIM上市场机(ji)制。

关键性指标：

特色:  

◇  70 kV气态团簇铁(tie)离子束(shu)，光点长度(du)为1.5&micr✤o;m；

◇  从加聚物到>10000的(de)先选(xuan)簇；

◇  利(liꦡ)用一系列气体运转，包(bao)含(han)Ar、CO2、Ar/CO2夹杂气体；

◇  保障来源团(tuan)簇进级常(chang)用；

◇  只限在(zai)J105 SIMS上(shang)可以用；

利用手艺：

高区域分辩(bian)率GCIB SIMS阐发会(hui)或(huo)者(zhe)在单独某个上皮细胞核(he)层(ceng)次上对(dui൲)是完全份子消停亚上ꦗ皮细胞核(he)三维成像。